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微波是指頻率在300兆赫茲到300千兆赫茲的電磁波。介質物料由極性分子（水分子）和非極性分子組成，在電磁場作用下，這些極性分子從原來的隨機分布狀態轉向按照電場的極性排列取向。在高頻電磁場的作用下，這些取向按交變電磁場的變化而變化，這一過程致使分子的運動和相互磨擦效應（在2054兆赫茲電磁場作用下，水分子每秒鐘可作24億五千萬次的位移），從而產生熱量。此時交變電磁場的場能轉化為介質內的熱動能，使介質溫度不斷升高。
微波加熱是使被加熱物體本身成為發熱體，稱之為整體加熱方式，不需要熱傳導的過程，因此能在短時間內達到均勻加熱。這一特點可使熱傳導較差的物質在短時間內得到加熱干燥，能量的利用率得到提高，還可以使加熱爐的尺寸比常規加熱爐要小。同時，當物料在微波電磁場作用下，物料整體溫度上升。此時，由于物料表面水份蒸發，致使表面溫度降低；從而造成一個內高外低的溫度梯度，這個梯度的方向正好與水份蒸發的方向一致。所以效率極高。
微波在干燥應用中，一般有兩種方式。一是常規的遂道式干燥設備，主要應用于干燥溫度要求不高、過程沒有揮發性物質產生的物料干燥（可以在幾到十幾分鐘時間內干燥到含水量百分之零點幾，溫度可以控制在100度以內；另一種是微波真空干燥方式（包括靜態的吊籃式微波真空干燥設備和動態的攪拌式微波真空干燥設備），主要應用于熱敏性物料的干燥以及有揮發性物料的干燥。
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