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    LED產業從材料設備、外延片生長、芯片制造到封裝及應用的整個產業鏈中，設備再一次成為制約行業發展的薄弱環節。業內專家表示，中國LED產業要想健康快速發展，一定要在關鍵設備、原材料上下工夫。

    上游關鍵設備還需要依靠進口

    ?LED生產設備種類繁多

    ?關鍵設備幾乎完全依賴進口

    據介紹，在LED生產過程中需要很多設備，從藍寶石襯底加工用的單晶爐、多線切割、研磨拋光等設備，到MOCVD（金屬有機化合物化學氣相淀積）、退火爐等設備，再到與IC芯片工藝相類似的設備，如光刻機、刻蝕機、清洗機、蒸發鍍膜等，最后到封裝用的固晶機、金絲/鋁絲球焊機、分選機等等，種類繁多。其中，MOCVD、等離子刻蝕機等技術含量很高的設備，國內生產線全部依靠進口。只有少數幾種設備實現了國產化，如中電科技集團第45所研制的單線切割機、多功能粘片機、全自動焊線機、分光機、砂輪劃片機、激光劃切機等，都已經在用戶生產線上使用。

    中電科技集團第48所研發中心副部長胡曉宇在接受采訪時表示，受國內設備制造業整體水平低的限制，再加上進口設備的擠壓以及國外設備專利技術的封鎖，國產LED設備（其中包括一部分IC芯片制造設備）整體水平落后，基本上處于實驗室水平，在設備產能、工藝水平、一致性、均勻性和可靠性方面與國際先進水平相比還存在極大的差距。他表示，近年來國內相關研究單位對LED生產設備進行了一些嘗試，在技術上取得了一些突破，如單晶爐、研磨拋光機等，但大都沒有在生產線上使用。因此，國產LED設備要進入大生產線還有很長的路要走。

    “LED產業鏈中最關鍵的上游設備，國內完全是空白，還需要進口，如MOCVD外延設備主要來自美國、德國和英國。在中游，生產芯片的設備現在有些企業已經可以做了，如刻蝕機，使用的效果還可以，但同國外設備相比還有不小的差距。”晶能光電（江西）有限公司副總裁王敏說。

    業內人士表示，LED設備在研制過程中大都遇到了成本問題，設備的零部件大都選用進口產品，而設備的售價卻遠低于國外設備，這使得設備的利潤率很低。“目前大型的LED企業都享有國家設備進口免稅政策，這對我們自己研發設備是非常不利的。”中電科技集團第45所市場部副主任王海明說。

    設備開發和工藝應緊密結合

    ?完全克隆光伏設備做法行不通

    ?圍繞工藝開發才能適應需求

    國產設備已經在太陽能光伏產業鏈上發揮了很大的作用，國產LED設備是否也能彌補LED產業鏈中缺失的一環？胡曉宇表示，LED產業與太陽能產業有許多相同點，但也有很大的區別，國產LED設備如果完全克隆光伏設備的做法肯定是行不通的。在所有的光伏設備中，并沒有哪一種設備像MOCVD一樣，在整個LED生產設備投資中占如此大的比重。國產LED設備廠商必須從MOCVD設備開始取得突破，才能逐步向前道和后道工藝設備不斷擴展，最終實現整個產業鏈的全部設備國產化。MOCVD設備的技術門檻很高，需要克服很多困難，投入大量的人力、物力、財力，整合各種優勢資源，但這并非是不可逾越的。
    中國電子專用設備行業協會秘書長金存忠說，LED不像光伏設備，它對技術和工藝的要求更高。目前國內許多設備制造商力量薄弱，研發水平較低、關鍵零部件的生產工藝控制較差等問題造成國產設備的穩定性和可靠性還達不到要求，導致國內生產企業即使花大價錢也要買國外的設備。因此，國產設備要想在LED產業大發展過程中有所作為，一定要在穩定性和一致性上做好文章。

    王海明表示，在LED生產中，前道工藝需要突破MOCVD,該設備是芯片制造的關鍵設備，該設備長期依賴進口，單臺價格在3000萬元左右，長期以來制約著我國LED芯片制造的發展；后道封裝設備中高速全自動金線鍵合機的需求量較大，國內還無法批量提供設備。

    王敏表示，MOCVD不是不可逾越，國內是能夠做出來的，但是要做到高水平比較困難，現階段還沒有這個能力。他強調，MOCVD生產設備可以引進國外的技術，如果完全依靠自己研發會比較慢。

    LED發展到今天，制約其大面積推廣的因素還是上游的裝備業的發展水平，有數據顯示，現在LED裝備業的折舊占了成本的1/3.因此，如果大部分LED設備能夠實現國產化，才有可能使LED生產成本大幅下降，讓LED走入千家萬戶。

    王敏表示，國產設備之所以沒上大生產線，跟國內裝備業總體水平比較低有關系。我國裝備業基礎一直比較薄弱，即使現在LED應用如火如荼，上游的材料和裝備仍沒受到應有的重視，目前仍沒有很有實力的大企業對其進行攻關。此外，國家也應該集中財力對裝備業進行支持，設立專項。同時，國家要有具體的獎勵措施，鼓勵使用國產設備。“還有一點必須強調，設備實際上是工藝的固化，設備企業應該和生產企業聯合開發，這樣做能比較快地解決其與工藝脫節的問題。”王敏說。

    事實上，專業人士早就指出，設備是工藝物化的產物，只有緊緊圍繞生產工藝開發成本低廉、穩定性高的設備才能適應生產線的需求，才能在實踐中得到提升和改進，最終結合自己的工藝技術開發更先進的設備。胡曉宇表示，工藝是以設備為根本和載體，而設備是以工藝為目標，脫離工藝的設備就如同人沒有了靈魂。“我所的太陽能電池生產設備就是通過與工藝的緊密結合才發展到今天的大好局面。”他說。