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無塵無菌車間亦為車間既達到無塵效果，又達到無菌效果。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
進入無菌潔凈室人凈程序
緩沖設施有氣閘室、空氣沖淋室和緩沖室。平常的壓差控制也是緩沖設施之一。
a. 氣閘室是兩道門不能同時開啟的小室，對防止污染入侵的作用較小。
b. 空氣沖淋室是用高速（20m/s以上）潔凈空氣吹去衣服上塵粒的設備，只有一定效果。一般來說： 對30萬、10萬級潔凈室無須設置； 對1萬級潔凈室一般可不設，為起到警示作用也可設。 設置單人吹淋室時，宜不超過 30 人設一臺，潔凈區人員超過5人時，吹淋室一側應設旁道通門。
c. 緩沖室：緩沖室必須送潔凈風，其潔凈度級別同進入房間的級別，但可不高過10000級。在一側門開放時，另一側門不應同時開放。 緩沖室的面積，應不小于3㎡。 相差一級的潔凈室之間完全無必要設緩沖室。 相差二級的潔凈室之間應根據其具體情況考慮是否設緩沖室，當自凈時間不能超過3~5min，則應設緩沖室。 如果鄰室設有異種污染源，即使是同級也應在其間設緩沖室。在工藝上出現此類情況應盡量避免布置在一個平面上或一個區域里。 |
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