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PVD硬質涂層真空鍍膜設備
| 詳細信息  
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我公司設計制造的SV系列PVD多弧離子鍍膜機主要由以下部分組成:
1.真空筒體:采用全不銹鋼制造,雙層水冷結構
2.抽氣機組:采用旋片泵+羅茨泵+擴散泵組合的高效率真空機組
3.轉架系統:采用不銹鋼轉架,自轉與公轉相結合的行星運轉方式
4.水冷系統:采用全水套的水冷方式,冷卻效率高
5.電源系統:設計先進,性能穩定可靠
6.進氣系統:采用優質質量流量計結合自主研發的控制系統,確保進氣量穩定準確
7.控制系統:設計結構先進,有手動控制和自動控制兩種方式
8.弧離子源:設計獨特,高離化率。

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