關鍵字：氣浮平臺,精密平臺,平臺
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自1970年Aerotech開始研制最高性能的運動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應用于世界范圍內的工業(yè)制造、政府及自然科學研究等行業(yè)。Aerotech能夠為生命科學及醫(yī)學設備，半導體加工，光子學，數(shù)據(jù)存儲，激光應用，航空和國防，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應用苛刻要求的高性能精密運動控制產(chǎn)品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to the Science of Motion。
ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準和裝配應用設計
2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設計
行程≤150mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL1500直線電機平臺
1專為高性能掃描和檢測應用設計
2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋
3全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4大負載高剛性幾何特性極好
行程≤500mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應用設計
2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
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