關(guān)鍵字：微刀具,FIB加工,掃描電子顯微鏡,微納加工
dbzz目前公司已經(jīng)形成下述生產(chǎn)加工能力：
超精密加工
實現(xiàn)了納米級機(jī)械加工，其加工設(shè)備的定位分辨力達(dá)0.034nm。適于加工球面、非球面、菲涅爾反射鏡、天體望遠(yuǎn)系統(tǒng)反射鏡和多面棱鏡等各種超精密元件以及各種透鏡的納米級表面注塑模具。
自由曲面加工
實現(xiàn)了自由曲面的超精密加工，成功開發(fā)出復(fù)眼反射鏡、螺旋反射鏡、非球面透鏡陣列、正弦曲面陣列、微棱反射鏡等典型光學(xué)自由曲面元件，并具備相應(yīng)的生產(chǎn)能力。
脆性材料加工
實現(xiàn)了硬脆材料如玻璃、陶瓷、剛玉、硬質(zhì)合金、鐵氧體等的復(fù)雜曲面精密加工，可達(dá)到傳統(tǒng)加工方法難以滿足的工件技術(shù)要求，表面粗糙度可達(dá)0.2μm。
聚焦離子束（FIB）加工
同步實現(xiàn)FIB加工和SEM（掃描電鏡）測量，具備納米加工-納米原型設(shè)計-2D/3D納米表征-納米分析（包括：3維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析等）能力,實現(xiàn)微/納米元件（如三維微/納結(jié)構(gòu)、微刀具、碳納米管器件等）的制備和性能檢測。
微注塑成型加工
利用自主開發(fā)的微型模具，在精密注塑機(jī)上進(jìn)行高精度、復(fù)雜形狀元件（如：球面及非球面透鏡、自由曲面光學(xué)元件、高深寬比微納器件、微納結(jié)構(gòu)陣列等）的微注塑成型，可應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域微納核心關(guān)鍵件的成品制造。
微納測量
具備表面輪廓、形貌、粗糙度測量與分析的能力，可對表面起伏大、包含陡峭邊沿（傾斜角度可達(dá)90°）的非球面光學(xué)鏡面及模具實現(xiàn)全自動、高精度的測量和分析。
利用以上的研發(fā)、生產(chǎn)與加工服務(wù)能力，客戶已由國內(nèi)企業(yè)、科研院所、大專院校拓展到美、日、德等微納制造技術(shù)發(fā)達(dá)地區(qū)。 |
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