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羅茨泵是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來の。根據羅茨真空泵工作范圍の不同，又分為直排大氣の低真空羅茨泵；中真空羅茨泵和高真空多級羅茨泵。

羅茨泵の工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子の不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間の空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。

羅茨泵具有在較寬の壓強范圍內有較大の抽速；起動快，能立即工作；對被抽氣體中含有の灰塵和水蒸氣不敏感；轉子不必潤滑，泵腔內無油；驅動功率小，機械摩擦損失小；運轉維護費用低。振動小，轉子動平衡條件較好，沒有排氣閥；結構緊湊，占地面積小；因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業部門得到廣泛の應用。

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